Wafer (englisch für „Waffel“ oder „Oblate“) sind kreisrunde oder quadratische, etwa ein Millimeter dicke Scheiben (Mikroelektronik, Photovoltaik und Mikrosystemtechnik). Sie werden aus ein- oder polykristallinen (Halbleiter-)Rohlingen, sogenannten Ingots, hergestellt und dienen in der Regel als Substrat (Grundplatte) für elektronische Bauelemente, unter anderem für integrierte Schaltkreise, mikromechanische Bauelemente oder photoelektrische Beschichtungen. Bei der Fertigung von mikroelektronischen Bauelementen werden in der Regel mehrere Wafer zu einem Los zusammengefasst und direkt hintereinander oder auch parallel bearbeitet.
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